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液冷制冷機

應(yīng)用于晶圓測試載物臺、chuck的加熱及制冷，采用硅油或氟化液循環(huán)精準(zhǔn)控溫±0.1℃，液冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件。

設(shè)備控溫范圍：-80℃~200℃
Chuck盤面控制溫度：-60℃
溫度穩(wěn)定性：±0.1℃
制冷系統(tǒng)：采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機

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參數(shù)看清楚

型號

設(shè)備名稱
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統(tǒng)
介質(zhì)溫度范圍
溫度精度
溫度反饋
控溫對象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲功能
冷凝方式
安全防護

液冷制冷機

PTHC系列低溫液冷機
雙級復(fù)疊制冷
7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡便、顯示直觀，可顯示、記錄溫度曲線和測試數(shù)據(jù)
氟化液或硅油
管道材質(zhì)：SUS304，采用全密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.1 ℃
設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度、出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤溫度
設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外置測溫傳感器端口、USB數(shù)據(jù)接口
試驗執(zhí)行時，可實時顯示圖形曲線，顯示內(nèi)容；溫度設(shè)定實際值，執(zhí) 行程序周期，程序執(zhí)行中具有跳文件，保持功能。
風(fēng)冷
設(shè)備運行狀態(tài)實時顯示，故障信息自動診斷，多項報警保護

產(chǎn)品推薦

制冷加熱的設(shè)備也就是化工行業(yè)常說的TCU系統(tǒng)。這個主要是采用了現(xiàn)有的能源（蒸汽、循壞水、冷凍水），把初級能源整合運用到一起進行對工藝設(shè)備的準(zhǔn)確控溫的單流系統(tǒng)或者二級回路上去。冷熱一體控溫機介質(zhì)一直導(dǎo)熱介質(zhì)流到反應(yīng)釜夾套去，而不是通過蒸汽、冷卻水、超低溫介質(zhì)直接對反應(yīng)釜進行溫度控制，制冷加熱的設(shè)備是通過大數(shù)據(jù)運算整體反應(yīng)所需要的溫度的過程來自動調(diào)節(jié)。