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通過機(jī)組自身的高效換熱系統(tǒng)，將進(jìn)入裝置內(nèi)的干燥氣體(如氮?dú)?，氬氣或空?從環(huán)境溫度冷卻到低溫恒溫狀態(tài)， 設(shè)備出來的氣體即可達(dá)到目標(biāo)低溫溫度。

PTZL系列直冷型制冷機(jī)適用于真空涂覆冷阱、半導(dǎo)體芯片測(cè)試、熱沉試驗(yàn)、低溫液浴，氣體捕集、藥品凍干等多種用途。

Chiller高精度冷熱循環(huán)器,控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品,控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。

TLS精密冷水機(jī)：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機(jī)。本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體制造裝置、分析檢測(cè)裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。

SMART系列產(chǎn)品是專門為實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用開發(fā)的一款小型高低溫動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)。適用于對(duì)玻璃反應(yīng)釜、金屬反應(yīng)釜、生物反應(yīng)器等進(jìn)行升降溫、恒溫控制，材料測(cè)試。