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DHF藥液精密溫控器

DHF 藥液精密溫控器是專門針對 DHF（Dilute Hydrofluoric Acid，稀氫氟酸）藥液設計研發(fā)的一種能夠實現(xiàn)高精度溫度控制的設備。在半導體制造、微電子加工以及光伏產(chǎn)業(yè)等諸多對工藝精度要求極高的領域，DHF 藥液常用于蝕刻、清洗等關鍵工藝環(huán)節(jié)，而這些工藝的效果對藥液溫度的細微變化極為敏感，所以該精密溫控器起著精準調(diào)控 DHF 藥液溫度，保障相關工藝穩(wěn)定且高質量進行的關鍵作用。

應用領域
半導體制造濕法工藝中使用的化學品的溫控（RCA 清潔，蝕刻，顯影劑）

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產(chǎn)品推薦

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。主要部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

chiller高精度換熱溫控單元

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機及主要制冷部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。